日本 春日电机 KASUGA 微波等离子体除电处理系统 MPNS-01

2024-07-27 16:48:19 admin

由于真空中缓和静电的气体成分稀薄,静电成为比大气压环境更严重的生产障碍的原因,一般的静电除去装置(电离器)同样由于气体成分稀薄,不能生成充分的离子,难以进行除电。

微波等离子体除电处理系统可以通过以往困难的高真空工艺进行除电。

系统总体配置

MPNSKOUSEI1.jpg

离子电流特性

MPNSイオン電流1.jpg

  • 测定的离子电流值是即使薄膜的输送速度为1000m/min也可以除电的值。
  • 除电范围如果没有障碍物的话,即使在2米远的地方也可以除电。


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