原装 春日 KASUGA MPNS-01 等离子体静电消除器

2024-07-31 11:57:28 admin

微波等离子体静电消除处理系统( MPNS-01 )
microwave-plasma-static-elimination-system ( mpns-01 )

可在高真空下消除静电

由于真空中缓和静电的气体成分稀薄,静电会导致比大气压环境更严重的生产障碍。 微波等离子除电处理系统可以通过以往困难的高真空工艺进行除电。

MPNS外観1.jpg

应用小行星探测器“隼鸟2号”的离子发动机技术,与JAXA (宇宙航空研究开发机构)共同研究并转用于地面。

はやぶさ2.jpg

TANSAX1.jpg

概要

由于真空中缓和静电的气体成分稀薄,静电会成为比大气压环境更严重的生产障碍的原因,一般的静电去除装置(静电消除器)同样由于气体成分稀薄,无法生成充分的离子,难以进行除电。

微波等离子静电消除处理系统可以通过以往困难的高真空工艺进行静电消除。

系统整体结构

MPNSKOUSEI1.jpg

离子电流特性

MPNSイオン電流1.jpg

  • 测量的离子电流值是即使薄膜的输送速度为1000m/min也能进行静电消除的值。
  • 除电范围只要没有障碍物,即使在2m以外的地方也能进行除电。


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